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京仪装备荣获2018年度北 京市科学技术奖

3月1日,“北京市 科学技术奖励大会暨2019年全国 科技创新中心建设工作会议”在北京会议中心召开,市委书记蔡奇,市委副书记、市长陈吉宁参加会议。会上市领导为2018年度北 京市科学技术奖获奖单位颁奖,对科技 工作者为首都科技事业发展作出的贡献致以崇高敬意和热烈祝贺。

由京仪 集团推荐申报的京仪装备公司“半导体 生产线专用温控系统关键技术研发及应用” 项目荣获三等奖。半导体专用温控装置(Chiller)为京仪 装备自主研发产品,由热交换器、循环泵、压缩机 和控制系统构成一个自我平衡的循环装置,主要用 于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制,产品性 能处于国际领先水平。

京仪装 备技术研发团队秉承工匠精神,坚持自主创新、精益求精,成功打破了国外垄断,为推进 我国半导体事业发展、增强北 京在全球科技竞争中的影响力贡献了一份力量。

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